Kullanıldığı yerler: NOT:Hava ile birleşiminde yanıcı olmayan özelliğini sağlamak için, asal gazlar,CO2 ve Halokarbonlar ile karışım halinde kullanılır.CO2 karışımlı etilenoksit gazı;
Tıpta,sterilizasyonda;
Optik aletlerin sterilizasyonunda;
Isıya karşı duyarlı malzemeler ile talk tozu ve toprak gibi ısı yalıtan malzemelerin sterilizasyonunda kullanılır.